无尘车间是指将空气中之尘埃、压力、温度、湿度
无尘车间是指将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无
法完全清除之灰尘。
联邦规格无尘室等级:
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于
0.1微米。也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当
金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
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